Борофосфосиликатное стекло - Borophosphosilicate glass

Борофосфосиликатное стекло, широко известный как BPSG, это тип силикатное стекло который включает добавки обоих бор и фосфор. Силикатные стекла, такие как ПСЖ и борофосфосиликатное стекло обычно используются в изготовление полупроводниковых приборов для интерметаллических слоев, то есть изолирующих слоев, нанесенных между последовательно более высокими металлическими или проводящими слоями.

BPSG был вовлечен в повышение восприимчивости устройства к мягкие ошибки поскольку изотоп бор-10 хорошо улавливает тепловые нейтроны из космическое излучение.[1][2] Затем он подвергается деление производство гамма-луч, альфа-частица, а литий ион. Эти продукты могут затем сбрасывать заряд в соседние структуры, вызывая потерю данных (переворот битов или одно событие расстроено ).

В критических конструкциях используется обедненный бор, почти полностью состоящий из бора-11, чтобы избежать этого эффекта в качестве радиационное упрочнение мера. Бор-11 является побочным продуктом атомная промышленность.

Рекомендации